BenchMark 450 主要技术参数

XY 精度:E₂=(2.5+5L/1000)微米

Z   精度:E₁=(2.0+8L/1000)微米 （ 带TTL激光和可选5倍镜头）

测量范围

18" X18"X6"

450X450x150毫米

尺寸

48" X45"X67"

1210X1140X1700毫米

负载能力

65千克

台面分辨率

0.5微米

光学

双重放大 (物镜 X)



低

0.8

1.0

2.5

5.0

10.0

25.0





高

3.2

4.0

10.0

20.0

40.0

100.0



标配物镜

1X

可选物镜

0.8X,2.5X,5X

照明

LED 背光,LED 同轴面光

可选特征

多色可编程环形灯 (PRL)



Ronchi 栅格自动ju jiao



TTL 激光







旋转分度工作台